国家的光刻机和技术仅仅比国外落后一点点!
而且,国家会将光刻机和技术以及团队,暗中划转给赵岂年!
这个消息对于赵岂年而言,就是天降祥瑞!
中国的光刻机研制在70年代后期起步!
1977年,gk-3型半自动光刻机诞生!
1978年,1445所在gk-3的基础上开发了gk-4,把加工圆片直径从50毫米提高到75毫米,自动化程度有所提高,同样是接触式光刻机。
1981年,中科院半导体所研制jk-1型半自动接近式光刻机,研制成功两台样机。
米国在20世纪50年代就已经拥有了接触式光刻机,期间相差了二十几年。此时的光刻机巨头asl还没有出现(1984年,asl才诞生),rb的尼康和佳能已于60年代末开始进入这个领域。
1979年,机电部45所开展了分步光刻机的研制,对标的是美国的4800dsw。
1985年,研制出了样机,通过电子部技术鉴定,认为达到4800dsw的水平。
这是中国第一台分步投影式光刻机,采用的是436纳米g线光源,与国外的差距不超过7年!
1990年3月,中科院光电所研制的ioe1010g直接分步重复投影光刻机样机通过评议,工作分辨率125微米,主要技术指标接受美国gca8000型的水平,相当于国外80年代中期水平。
最近,国家已经启动了193纳米arf光刻机项目。
同时期,光刻机暂时被卡在了193纳米之上!
米国在联合世界各国进行技术突破!
这对赵岂年而言,是天大的好消息!!
不过坏消息是,国家的光刻机,基本用于军事领域,在民用领域几乎没有多少应用!
这是最大的硬伤!
光刻机没有大量的应用,几乎不可能继续推进!
而且,国家会将光刻机和技术以及团队,暗中划转给赵岂年!
这个消息对于赵岂年而言,就是天降祥瑞!
中国的光刻机研制在70年代后期起步!
1977年,gk-3型半自动光刻机诞生!
1978年,1445所在gk-3的基础上开发了gk-4,把加工圆片直径从50毫米提高到75毫米,自动化程度有所提高,同样是接触式光刻机。
1981年,中科院半导体所研制jk-1型半自动接近式光刻机,研制成功两台样机。
米国在20世纪50年代就已经拥有了接触式光刻机,期间相差了二十几年。此时的光刻机巨头asl还没有出现(1984年,asl才诞生),rb的尼康和佳能已于60年代末开始进入这个领域。
1979年,机电部45所开展了分步光刻机的研制,对标的是美国的4800dsw。
1985年,研制出了样机,通过电子部技术鉴定,认为达到4800dsw的水平。
这是中国第一台分步投影式光刻机,采用的是436纳米g线光源,与国外的差距不超过7年!
1990年3月,中科院光电所研制的ioe1010g直接分步重复投影光刻机样机通过评议,工作分辨率125微米,主要技术指标接受美国gca8000型的水平,相当于国外80年代中期水平。
最近,国家已经启动了193纳米arf光刻机项目。
同时期,光刻机暂时被卡在了193纳米之上!
米国在联合世界各国进行技术突破!
这对赵岂年而言,是天大的好消息!!
不过坏消息是,国家的光刻机,基本用于军事领域,在民用领域几乎没有多少应用!
这是最大的硬伤!
光刻机没有大量的应用,几乎不可能继续推进!